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EPI石英件清洗机(EPI Quartz Cleaner)


适用场景:用DIW、酸液等药液清洗EPI工艺专用石英件
设备特点:
1、机械手臂最大负载:20 kg
2、清洗对象:
  不规则石英制品最大外形尺寸: 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力:1篮/次
4、设备构成:机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全:排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能:自动补液(液位传感器控制)、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸: L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm

关键词:

EPI石英件清洗机(EPI Quartz Cleaner)

所属分类:

附属湿法清洗设备

EPI清洗机

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